科创板新股:芯源微12月4日申购
备注:信息、数据、图片来自芯源微招股说明书及相关公告
公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售,产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机),可用于 6 英寸及以下单晶圆处理(如 LED 芯片制造环节)及 8/12 英寸单晶圆处理(如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节)。
公司主营业务收入构成如下:
公司生产的涂胶显影设备产品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白,其中在 LED 芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节,作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代;在集成电路制造前道晶圆加工环节,公司成功突破了前道涂胶显影设备关键技术,于 2018 年下半年分别发往上海华力、长江存储进行工艺验证,其中,上海华力机台已于 2019 年 9 月通过工艺验证并确认收入,长江存储机台目前仍在验证中。
作为公司标杆产品,光刻工序涂胶显影设备系集成电路制造过程中不可或缺的关键处理设备,主要与光刻机(芯片生产线上最庞大、最精密复杂、难度最大、 价格最昂贵的设备)配合进行作业,通过机械手使晶圆在各系统间传输和处理,,从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程。作为光刻机的输入 (曝光前光刻胶涂覆)和输出(曝光后图形的显影),涂胶/显影机的性能不仅直接影响到细微曝光图案的形成,其显影工艺的图形质量和缺陷控制对后续诸多工艺(诸如蚀刻、离子注入等)中图形转移的结果也有着深刻的影响。
公司产品已实现批量销售,截至 2019 年 6 月 30 日,已累计销售 700 余台套,目前作为主流机型已成功打入包括台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌等在内的多家国内知名一线大厂。
本次公司募集资金用途如下:
补充资料,公司2019年业绩预测如下:
公司机构股东中,先进制造、中科院沈自所、科发实业在发行人上市之日起 36 个月内处于限售期内,国科投资、国科瑞祺、沈阳科投、国科正道在发行人上市之日起 12 个月内处于限售期内。在限售期满后,上述股东可依据相关法律法规进行减持,发行人相关机构股东存在变动的不确定性,其中,具有中科院背景的股东包括中科院沈自所(持股 16.67%)、国科投资(持股 10.83%)、国科瑞祺(持股 7.14%)、国科正道(持股 0.25%),上述中科院背景股东持有发行人股份不以控股为主要目的,国科投资、国科瑞祺、国科正道会在条件具备时逐步退出,中科院沈自所则将根据自身未来发展战略作出后续持股安排。如公司主要股东或实际控制权发生较大变动,可能会对公司的经营战略、发展方向、管理团队等发生影响,对公司生产经营和业务发展产生不利影响。
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